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第308章 给光刻机装“眼睛”

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男人没回答。

他盯着林希和江俊看了两秒。

目光落在周维民手里的钥匙上。

又扫了一眼门框上被撕掉一半的封条。

喉结滚了一下。

“周所。”

声音发涩。

“是来拉机器的?”

周维民赶紧摆手:

“不是不是,这位是红星科技的林经理。”

“来看看设备情况......”

“看看可以。”

陈默打断他。

声音很轻,但每个字咬得很死。

“搬走不行。”

周维民脸色不太好看,压低声音:

“老陈,行政科的处理通知你也看到了。”

“这是所里的决定……”

“所里的决定是错的。”

这句话出来,仓库里的空气凝住了。

周维民嘴张了一下,没接上。

陈默的眼眶开始泛红。

“周所,这台机器没坏。”

一个字一个字地说。

“主光路系统是王老亲手校的。”

“汞灯光源换过两次,每次都是我跟着师父一起换的。”

“物镜组的像差修正到现在还是好的。”

“它只是……大家不用了。”

他吸了一下鼻子。

“我知道所里缺钱。”

“我也知道上面说'造不如买'。”

“但这台机器是几百号人、干了四年搞出来的。”

“我师父……”

他停了一下。

“我师父在这台机器上熬瞎了一只眼睛。”

“求所里别把它砸了。”

直播间弹幕刷得很慢,但每一条都很长。

【一百多号人四年的心血,就这么要处理掉了。】

【他师父熬瞎了一只眼睛,这句话我看了三遍。】

【老陈把铺盖搬到仓库来了,他是怕自己不在的时候,机器被人拉走。】

【那三件军大衣盖在机器上,他晚上盖什么?】

仓库里沉默了很久。

周维民低着头。

他不是不懂陈默的心情,但所里的情况摆在那儿。

江俊站在林希身后,嘴唇抿得很紧。

他想起自己当年在长光所的日子。

想起那些因为经费被砍而中途夭折的项目。

林希没急着表态。

他走到机器旁边,弯下腰,轻轻掀起一角军大衣。

露出来的是主工作台的导轨面。

他伸出右手,指腹贴上导轨表面,缓缓滑过去。

三秒钟。

直起身。

“陈师傅。”

林希看着陈默。

“这台导轨,你多久保养一次?”

“每周一次。”

陈默下意识回答,

“擦旧油,上新油。”

“导轨面不能落灰。”

“落灰了就会锈蚀,锈蚀了精度就完了。”

“三年了?”

“三年多。”

陈默的声音有点抖。

“一百八十六次。”

林希收回手。

指腹上沾着一层薄薄的油膜,均匀、细腻,没有一粒杂质。

他转头看向江俊。

江俊是光学精密仪器出身,一看林希的眼神就明白了。

他走上前,掀开军大衣的另一角,露出底座的铸铁基体。

蹲下去看了几秒。

站起来的时候,表情变了。

“林总。”

江俊的声音压得很低,但压不住底下的东西。

“这个底座……”

“铸铁件自然时效去应力。”

林希接过话。

“这台机器从1979年铸造到现在,经历了四个春夏秋冬。”

“铸铁内部的残余应力。”

“已经通过自然温度循环,完成了最充分的释放。”

“现在这个底座的形变量,比任何人工退火处理都要小。”

他拍了拍铸铁基体。

“这是时间给的礼物。”

“花多少钱都买不来。”

陈默愣住了。

他守了这台机器三年。

听过无数人说它是废铁、是累赘、是过时的破烂。

从来没有人走过来摸一把导轨。

然后告诉他,这台机器的底子是好的。

直播间的弹幕也在此刻快速滚动起来:

【懂行的来了!自然时效是精密设备领域的“陈年老酒”,放得越久越值钱!】

【林总之前造砥柱机床,底座用的泉城青花岗岩,也是同样的道理,追求极致的形变稳定性。】

【所以这台光刻机的机械底座,反而因为放了四年,变成了最完美的状态?】

【废铁?这是宝贝!被你们当废铁扔了四年的宝贝!】

陈默的嘴唇哆嗦了好几下。

“你是说……这台机器,还能用?”

“不是还能用。”

林希收回手指,把沾着油膜的指腹在裤腿上蹭了蹭,

“是它从来就没坏过。”

他绕着GK-3走了一圈。

军大衣被掀开大半,露出主光路系统的铸铝外壳。

汞灯光源的接口擦得锃亮,连螺纹里都没有积灰。

“陈师傅。”

“这台机器当年下马,不是因为光学系统不行。”

林希停在XY工作台前。

用指甲弹了一下导轨侧面的刻度盘。

“是因为这个。”

陈默一愣。

“套刻对准。”

林希蹲下去。

指着工作台底部一组老式的蜗轮蜗杆传动机构,

“纯机械传动,没有位置反馈。”

“丝杠转一圈,理论行程是0.5毫米。”

“但实际上,蜗轮齿面磨损不均匀。”

“每转一圈的真实位移都不一样。”

他站起来,拍了拍手上的灰。

“套刻精度要求正负5微米。”

“这套机械传动的累积误差,最大能到8微米。”

“所以第二层图形永远对不准第一层。”

“废片率超过六成。”

陈默的身体晃了一下。

他当然知道。

这个问题困扰了整个109会战团队两年。

他师傅为了解决这个死区。

在显微镜前连续坐了七十二个小时。

左眼的视网膜就是那时候脱落的。

最后也没解决。

林希从公文包里抽出一张图纸,展开铺在行军床上。

图纸上画着一套改造方案。

XY工作台两侧,各加装一条光栅尺。

光栅尺的信号接入一块数字控制板。

控制板驱动两台微型伺服电机。

替换原有的手摇蜗轮。

“红星和长光所联合自研自产的光栅尺,分辨率1微米。”

林希用笔尖点着图纸,

“配合闭环伺服控制。”

“丝杠的累积误差,在每个采样周期内实时补偿。”

他看向陈默。

“你的机器什么都好。”

“光学系统是王老定的方案。”

“底座经过四年自然时效,主光路没跑偏。”

“它就差一双眼睛。”

“现在,我把眼睛给它装上。”
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